產品優勢/ Product advantages

• 數顯型氣體質量流量控制器M010

  量程范圍:0-30SLM，準確度:士1.0%S.P(>35%F.S)士0.5%F.S(≤35%F.S)線性:士0.5%F.S，重復精度:士0.2%F.S，響應時間:(1…4)SEC工作壓差:0.05~0.4MPA(2SCCM≤FLOW≤10SLM)、0.1…0.4MPA(10SLM≤FLOW≤30SLM)耐壓:3MPA(可選10MPA)，工

  
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  產品用途

  用于對微小流量氣體的質量流量進行精密的測量和控制，具有精度高，穩定性好，數字電路，可靠性高，安裝簡單，操作方便。

  

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  應用領域

  廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

  

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