氣體質量流量控制器是，通過內置熱式傳感器檢測氣體流量，將流量信號轉化為電信號，再通過控制器對比 “設定流量” 與 “實際檢測流量”，調節閥門開度以實現..控制。而 “零點” 是整個測量與控制體系的基準起點—— 若零點偏移，即使實際流量為零，傳感器仍會輸出非零信號，導致控制器誤判 “存在流量”，進而引發控制偏差。 

氣體流量控制器在使用中。MFC 核心的流量傳感器，受材料老化和溫漂特性影響，長期使用后 ，有可能發生傳感器漂移，控制器內部的放大器、ADC（模數轉換器）、信號處理芯片等電子元件，受溫度、電壓波動影響，會導致電子元件漂移。當流量計出現零點漂移后，可進行零點偏移的調節。零點的調節可以兩種方式進行調節。

一種是在流量顯示儀表盤上的調零或其他外部調整機構進行調節，叫做外調零。零點的調節可以兩種方式進行調節：另一種可以直接從流量控制器上的一鍵調零鍵來實現，這叫做內調零。

在調零時應切斷氣源，將閥控開關找在“關閉”位置，調零必須在開機預熱15分鐘以扣進行，以待流量計零點的穩定。除調零電位器外，不得輕易調整其它電位器。